激光技术

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ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

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本征非晶硅薄膜的准分子激光晶化

段国平, 陈俊领, 周德让, 韩俊鹤, 黄明举

2013, 37(2): 151-154. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.02.004

关键词: 激光技术, 微晶硅, 激光晶化, 多晶硅, 本征非晶硅

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激光能量对沉积纳米Si薄膜晶粒尺寸的影响

陈俊领, 段国平, 黄明举

2012, 36(3): 322-325.

关键词: 薄膜, 纳米硅晶粒, 脉冲激光能量密度, Raman谱, X射线衍射谱

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